530-IT

530-ITは、TESECが長年培ってきたパワーデバイス測定技術とICテスタ技術を融合し、IPD（Intelligent Power Device）やIPM（Intelligent Power Module）の評価・検査に最適化したテストシステムです。ロジックICとパワーデバイスが一体化された複雑なパワー半導体製品に対応し、開発段階の特性評価から量産工程の品質検査まで幅広い用途で活用できます。
近年、EV（電気自動車）、産業機器、エアコン、サーボモータ、再生可能エネルギーシステムなどに搭載されるIPMやパワーモジュールでは、高度な保護回路や制御回路の内蔵が進んでいます。530-ITは、こうした高機能パワー半導体の特性評価に必要な多彩な電源・測定機能を備え、デバイス性能と信頼性を効率的に評価します。
また、最大2.2kV・67Aの高電圧・大電流測定に対応し、拡張構成では最大200Aまでの評価が可能です。さらに、外部測定器との連携機能やパラレル測定機能を備え、多様化するパワー半導体市場に柔軟に対応できる拡張性の高いテストプラットフォームを提供します。

特徴

・IPD・IPMに最適化したテストシステム
ロジック回路とパワーデバイスが統合されたIPD・IPM製品の評価に対応し、複雑な動作条件を効率的に検証できます。パワーモジュールやスマートパワーデバイスの品質評価に最適です。
・高電圧・大電流パワーデバイス測定
最大2.2kV・67A、拡張構成では最大200Aまで対応可能です。高耐圧IGBT、MOSFET、パワーモジュールなどの評価に必要な測定能力を備えています。
・パラレル測定による生産性向上
2デバイス同時測定に対応し、テスト時間短縮とスループット向上を実現します。量産検査工程における効率化とコスト削減に貢献します。
・リーク電流測定の高速化
高速リーク測定機能により、品質評価に必要なリーク特性の測定時間を短縮します。量産環境でも安定した検査性能を発揮します。
・柔軟なバイアス印加とタイミング制御
多様な印加波形やタイミング設定に対応し、デバイス仕様や評価目的に応じた柔軟なテスト環境を構築できます。
・プログラミング知識不要のレシピ作成環境
言語レス方式によるレシピ（テストプログラム）作成機能を搭載し、効率的な試験条件設定が可能です。開発期間短縮や運用負荷軽減に貢献します。
・EV・産業機器向けパワーモジュール評価に最適
EV用インバータ、モータ制御機器、産業機器、家電向けIPMなど、高信頼性が求められるパワー半導体製品の評価・量産検査に適しています。