471-TT

471-TTは、ウェーハ測定工程における複数チップ同時測定を実現するパワーデバイス用DCテストシステムです。8パラレルおよび16パラレルの同時測定に対応し、従来のシングル測定方式と比較して大幅なスループット向上を実現します。パワー半導体の量産検査工程における生産性向上とテストコスト削減に貢献し、高効率なウェーハテスト環境を提供します。
また、テセックが培ってきた高電圧・大電流測定技術を継承し、最大2kVの高電圧印加に対応しています。SiC MOSFET、GaN HEMT、IGBT、ダイオードなど各種パワー半導体デバイスのDC特性評価を高精度に実施できるだけでなく、市場ニーズの高いアバランシェ測定にも対応しています。これにより、SiCデバイスや次世代パワー半導体の品質評価、信頼性評価、量産工程での検査効率向上を支援します。
さらに、ニーズが多いRg、Cissなどの容量測定にも対応。LAN通信による高速データ転送や高速リレー切換機能により測定時間を短縮し、生産ライン全体のタクトタイム改善に貢献します。EV向けパワー半導体、産業機器用インバータ、再生可能エネルギー機器向けデバイスなど、大量生産が求められるパワー半導体市場に最適なテストソリューションです。

特徴

・8パラレル・16パラレル測定による高スループット検査
複数チップ同時測定に対応し、ウェーハテスト工程の生産性を大幅に向上します。量産環境における検査時間短縮とコスト削減を実現します。
・UIS測定とDC特性測定を1台で実現
DCパラメトリックテストに加え、専用ユニットによるUIS（アバランシェ耐量試験）測定に対応します。開発評価から量産検査まで幅広い用途で活用できます
・最大2kVの高電圧測定に対応
高耐圧パワー半導体の評価に必要な最大2kVの測定能力を備えています。SiCデバイスや高耐圧MOSFETの評価にも適しています。
・パラレル測定でも高い測定安定性
独自の測定技術により、8パラレルおよび16パラレル環境でも安定した測定精度を実現します。量産工程における品質管理を強力にサポートします。
・LAN採用による高速データ処理
LANインターフェースの採用によりデータ通信時間を短縮し、リレー切換の高速化と合わせて測定タクトタイムを削減します。
・プローバやプローブカード保護を考慮した安全設計
電圧・電流制限機能を搭載し、プローブピンへの負荷を低減します。また、プローバの電流容量に合わせて測定チップ数を自動分割することで、安全かつ効率的な運用を実現します。
・ウェーハ量産検査に最適
パワー半導体、IGBT、MOSFET、パワートランジスタなどのウェーハレベル検査において、高い生産性と信頼性を両立した測定環境を提供します。