5880-IH

5880-IHはストリップフレーム上のデバイスを個片化することなく測定する装置です。従来モデルで培われたアライメントや位置・高さ補正機能をさらに強化し、高耐荷重・高精度ステージと組み合わせることで、多数個同時測定を最適なコンタクトストロークで実現します。温度環境試験に対応することで信頼性の高い検査とともに、新たな付加価値を提供します。検査工程における生産能力が大幅に向上し、生産効率の飛躍的な改善に貢献します。

特徴

・多数個同時測定による高スループット
・JAMフリーの安定搬送
・高耐荷重、高精度テーブル搭載
・高解像度カラーカメラ搭載
・AGV対応
・バーコード／2DコードリーダによるLOT管理対応
・チャンバーレス仕様
・オートソケットアライメント機能搭載
・オートクリーニング機構搭載
・SEMI S2S8規格対応
・SECS／GEM対応
・温度環境試験対応（オプション）