471-TT

471-TT 是一款用于功率器件的直流（DC）测试系统，可实现晶圆测试工序中的多芯片同时测试。支持 8 并行及 16 并行的同时测试，与传统的单芯片测试方式相比，实现了大幅度的吞吐量提升。该系统有助于提高功率半导体量产检验工序中的生产效率并降低测试成本，提供高效的晶圆测试环境。
此外，它继承了 TESEC 长期积累的高压、大电流测试技术，支持最高 2kV 的高压施加。不仅能够高精度地对 SiC MOSFET、GaN HEMT、IGBT、二极管等各类功率半导体器件进行直流特性评估，还支持市场需求强烈的雪崩测试（Avalanche Testing）。由此，可助力 SiC 器件及下一代功率半导体的质量评估、可靠性评估以及量产工序中的检验效率提升。
更进一步，它还支持需求众多的 Rg、Ciss 等电容测量。通过基于 LAN 通信的高速数据传输和高速继电器切换功能，缩短测试时间，为整条生产线的节拍时间（Tact Time）改善做出贡献。这是面向电动汽车（EV）用功率半导体、工业设备用逆变器、可再生能源设备用器件等需要大批量生产的功率半导体市场的最佳测试解决方案。

特点

通过 8 并行 / 16 并行测试实现高吞吐量检验 支持多芯片同时测试，大幅提升晶圆测试工序的生产效率。实现量产环境下的检验时间缩短与成本降低。
一台设备即可实现 UIS 测试与直流（DC）特性测试 除直流参数测试外，还可通过专用单元支持 UIS（单次脉冲雪崩能量试验）测试。可广泛应用于从开发评估到量产检验的多种场景。
支持最高 2kV 的高压测试 具备评估高压功率半导体所需的最大 2kV 测试能力。非常适合用于 SiC 器件及高压 MOSFET 的评估。
即使在并行测试下也具有极高的测试稳定性 依靠独创的测试技术，即使在 8 并行和 16 并行环境下也能实现稳定的测试精度。有力支持量产工序中的质量管理。
采用 LAN 实现高速数据处理 通过采用 LAN 接口缩短数据通信时间，结合继电器切换的高速化，有效缩短测试节拍时间（Tact Time）。
考虑探针台及探针卡保护的安全设计 配备电压与电流限制控制功能，减轻探针针脚的负荷。此外，可根据探针台的载流量自动分配测试芯片数量，实现安全且高效的运行。
晶圆量产检验的最佳选择 在功率半导体、IGBT、MOSFET、功率晶体管等晶圆级检验中，提供兼具高生产率与高可靠性的测试环境。